软管泵在半导体行业的应用

软管泵在半导体行业的应用
中国是世界上的电子产品制造国，也因此成为世界上的半导体消费国，约占全球消耗量的40.5%。现在半导体企业已把技术含量相对较低、劳动密集型的产业链环节向我国转移，我国半导体产业已成为产业链的一环。2014年中国大陆集成电路产业销售额预计增速将超过18%，产业规模超过2,500亿元，其中集成电路设计增速将超过30%，子产业规模进一步提升至810亿元，全行业占比提升至32%左右。

“十二五”期间，中国正在试图重拾为期20年的芯片行业发展规划，宣布在2010-2020年300亿美元用于半导体设计与制造。地方各级也计划同期250亿到300亿美元。

半导体行业工艺流程---IC产业 

晶圆制作流程 

VERDERFLEX软管泵在该行业中，主要应用在晶圆、芯片、IC、LED、TFT-LCD废 水 处 理 系 统中的加环节。

半导体制作过程会产生大量的废水，必须小心的处理，以免危害环境。一般而言，废水的来源可以分成制造废水、超纯水的制造排水与排气洗净水等三大类。如果依性质分类课可以分成酸碱废水、含氟废水、物废水，研磨废水与重金属废水等五类。

废水处理系统使用多的是化学沉淀法 ：

化学沉淀法为利用法学剂与溶解的离子发生法学反应产生不溶解性沉淀物，含氟废水的处理即利用钙离子与氟离子发生反应结合成氟化钙粒子沉淀去除之。

主要化学反应式： Ca2+ + 2F- → CaF2↓ Ksp = 3.4*10-11

为了降低氟离子残存浓度，一般可以提高所添加的钙浓度以预期处理效果。钙离子的选用来源可以由石灰石、消石灰、氯化钙等提供。

所添加的石灰石、消石灰、氯化钙等剂则需要由VERDERFLEX软管泵输送。